第0319章 问题又回到了起点 (第1/2页)

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“据我所知，目前米、日、荷等国都已经展开了对极紫外光的研究，特别是米国，集中了几个国家实验室的力量，投入了大量的人力和物力来攻关。”

“他们遇到的难题很多，最棘手的一个问题，就是极紫外光可被包括空气在内的所有东西吸收，无法顺利抵达晶圆表面。”

“这对我们来说是一个好消息，给了我们一个追赶的机会，所以，哪怕再难，极紫外光也必须立项。”

“否则，不久的将来，在微电子方面，西方发达国家将会把我们远远抛到身后！”

“别人的技术先进，就意味着对我们的垄断和封锁，我想，这肯定是大家都不愿意看到的后果吧？”

“那当然！”李院士和徐教授毫不犹豫地点头。

换了任何一个有远见的华国人，应该都有这方面的认识。

一直以来，国外对华国的技术垄断和封锁，都是有目共睹的。

先进的技术和设备，统统不卖给华国。

就算卖一些过时的技术和设备，也是一副高高在上的态度往死里要价。

对于这些，李坚强和徐端逸都是深有感触的。

但他们对极紫外光的研究还是一点把握都没有。

“外国专家都无法突破，咱们一点基础都没有，搞起来恐怕更难啊！”

有这样的担忧也正常。

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“综合来看，光源、反射镜和工作台是光刻机的三大部件，咱们先来说说极紫外光源。”

“目前国外普遍研究的是同步辐射光源。”

“这种光源具有高准直、高偏振、

。高纯净度、高亮度等诸多优点，但它却有一个致命缺陷。”

“电子注入过程复杂，导致它的造价太高，不适合大规模推广应用。”

“所以我觉得我们对极紫外光源的研究，应该是放电等离子体方案。”

“这种办法能够将电能直接转化为等离子体能，与同步辐射源相比，由于可以建立较大功率电源系统，能源转换效率有进一步的提高。”

“此外，由于它的光源结构简单，研制更容易着手，运营成本更低，更适合大规模工业应用……”

牧乔滔滔不绝地说着，从光源说到了反射镜，然后又说起工作台。

牧乔惊喜于自己超强的记忆力，也庆幸自己上一辈子闲得无聊的时候，在网上阅读了不少对他来说完全没有一点用处的学术文献。

但他不知道的是，此时此刻，李坚强和徐端逸更加震惊。

极紫外光刻这个概念，国际上是80年代末期才提出来的，此后，西方发达国家展开了大量的实验研究。cascoo.net

但到现在为止，没有任何一个国家取得突破性的成果。

在国内，有一些从事微电子行业的人，甚至连极紫外光这个概念都搞不大清楚。

但牧乔这个连大学都没读过的年轻人，却将它说得头头是道！

最关键的是，他还给出了研发的方向。