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14号,情人节。
介于昨天晚上曲某人与佐佐木元聊的非常投机,还达成了许多默契。原本参观NEc丸之内总部大楼的计划,变成了参观NEc中央研究所。
从名字就能看出来,“中央研究所”是NEc旗下一系列研究机构中规模最大的,也是成立最早的。
49年创立,从最初的材料、器件,逐渐拓展到计算机系统和软件。
75年从东京迁至神奈川县川崎市,又成立了“未来技术研究室”,专注于十到三十年后的颠覆性技术。
(小日子的“县”相当于咱们的省,“市”相当于地级市或县级市。从面积上看,“县”相当于市,“市”相当于县)
76年开发出小日子首款量产的商用采用 7.5 微米工艺,集成 2500 个晶体管的4 位微处理器μ-4。
77年开发出“沟槽电容器” 结构,使存储密度提升4倍,成功研制64K dRAm。
78年开发电子束光刻技术,将集成电路线宽从 5 微米缩减至 1 微米,突破了当时的技术极限。
曲卓这次参观的重点,就是电子束光刻技术。
不但“摸”到了NEc自己的独立项目,还“摸”到了尼康和Ibm通过专利共享,合作开发的NcR-Eb1A原型机?。
图片上是Ibm和尼康合作,在1980年推出的 EL-3 电子束光刻
(NcR-Eb1A的图片没找着,应该跟同源同代的EL-3差不太多)
这玩意支持?1000万像素并行投射,将线宽推进到了0.1-0.5微米(100-500纳米)。?
而时下老美 GcA 最先进的dSw4800步进式光刻机,最小线宽是0.5到1微米。
当然了,电子束光刻机虽然精度更高,但和光学光刻机是没法比的。
NcR-Eb1A一小时只能处理几平方厘米的晶圆,dSw4800每小时可以处理接近两百片晶圆。
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